水汽捕集泵（Water Vapor Cryochiller）， 主要用于辅助抽真空以及改善真空质量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之间捕集真空腔内水汽和油分子, 提升产品的产能和成膜质量。

Polycold 深冷水汽捕集泵的冷媒采用无毒环保型冷媒（符合联合国温室气体排放协议），不易爆，不易燃。 冷媒出现泄漏会严重影响设备制冷效率，我们提供各类深冷水汽捕集泵的冷媒服务，如：检漏、补漏、冷媒销售等，冷媒采用标准冷媒专用钢瓶包装，备有现货。